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在線監測面阻測量儀
- 簡介:Suragus面阻測試儀来自德国,其通过涡流的原理测量材料面阻值,该技术是一种非接触式面阻测试技术且测试准确稳定,对于無损检测、在线面阻监测具有重要意义。
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圖片
簡介
Suragus面阻測試儀来自德国,其通过涡流的原理测量材料面阻值,该技术是一种非接触式面阻测试技术且测试准确稳定,对于無损检测、在线面阻监测具有重要意义。
規格參數
測量模式:非接觸式實時測量
襯底:foils, glass, wafer等
檢測間距:1 / 5 / 10 / 15 / 25 / 50 mm (可定制其他)
傳感器數目:1 – 99
面阻範圍: 0.0001~1000 Ohm/sq
薄膜厚度:2nm – 2mm(依据面阻而定)
工作環境:真空 / 非真空
工作溫度:< 60°C/ 140°F (< 90°C/ 194°F 需定制)
采樣率:1 / 10 /50 /100 /1,000 data/s
配套設備(選配):硬件觸發 / 条形码阅读器
選配功能:導電膜厚度/ 光透射率 /密度 /各向異性
功能圖解
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Suragus面阻測試儀来自德国,其通过涡流的原理测量材料面阻值,该技术是一种非接触式面阻测试技术且测试准确稳定,对于無损检测、在线面阻监测具有重要意义。
測量模式:非接觸式實時測量
襯底:foils, glass, wafer等
檢測間距:1 / 5 / 10 / 15 / 25 / 50 mm (可定制其他)
傳感器數目:1 – 99
面阻範圍: 0.0001~1000 Ohm/sq
薄膜厚度:2nm – 2mm(依据面阻而定)
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工作溫度:< 60°C/ 140°F (< 90°C/ 194°F 需定制)
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